WF6 का उपयोग मुख्य रूप से इलेक्ट्रॉनिक्स उद्योग में धातु टंगस्टन के रासायनिक वाष्प जमाव (CVD) प्रक्रिया के लिए कच्चे माल के रूप में किया जाता है। WF6 से बने WSi2 का उपयोग बड़े पैमाने पर एकीकृत सर्किट (LSI) में वायरिंग सामग्री के रूप में किया जा सकता है, और इसका उपयोग अर्धचालक इलेक्ट्रोड, फ्लोरीन, रासायनिक एजेंटों, पोलीमराइजेशन उत्प्रेरक, ऑप्टिकल सामग्री आदि के लिए कच्चे माल के रूप में भी किया जा सकता है।